EEIS 東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻

年吉 洋 教授

駒場キャンパス

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MEMS/NEMS、マイクロナノメカトロニクス

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は電気、機械、化学、材料力学、流体力学、光学…の複合領域です。半導体微細加工技術を光通信デバイス、画像ディスプレイ、医療診断装置、IoTセンサ、エナジーハーベスタ等に応用します。

研究分野1

振動発電型MEMSエナジーハーベスタ(MEMS Vibrational Energy Harvester)

本格的なIoT(Internet of Things)を実現するには低消費電力のエレクトロニクスに加えて、それらを永続的に駆動する電源が必要です。現状では電池・太陽電池が使われることが多いのですが、夜間・暗所では発電できません。そこで本研究室では自然環境・人工物にあまねく存在する環境振動に着目して、機械振動から発電するエナジーハーベスタをMEMS技術(Microelectromechanical Systems Technology)を用いて実現しました。
研究分野2

MEMS波長可変光源を用いたOCT(Optical Coherence Tomography using MEMS Wavelength-Tunable Laser Diode)

静電駆動型のMEMSファブリ・ペロ光干渉計を面発光型レーザーと組み合わせることで、波長可変レーザーを構成しました。さらにこの光源を用いて光断層計測装置(OCT:Optical Coherence Tomography)を実現しており、眼軸長や角膜、網膜の状態を調べる医療用の計測機器として製品化しています。本研究は2002年以降20年以上にわたって産学協創研究を継続しているsantec株式会社との共同研究成果です。
研究分野3

薄膜トランジスタを用いた臓器連環バイオ計測(Multi-organ Interlink Analysis using Thin-Film Transistors)

液晶ディスプレイの駆動に用いられる薄膜トランジスタ電極アレイ基板の上で心筋細胞や神経細胞を培養し、細胞電位をin vitro計測できるようになりました。次のステップとして、心臓や脳等の臓器間連携を調べるためにin vivo計測に取り組みます。本研究は生産技術研究所のティクシエ三田アニエス先生との共同研究です。
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