教員・研究一覧
教授
池田 誠 教授
本郷キャンパス
知的情報処理・センシングとハードウエアセキュリティ
世の中のサイバー空間における知的処理の基点としてのハードウエアは、より知的に、より高速に、より低電力に、そしてより安全に進化しています。サイバー空間への入り口としてのセンシング、取得したデータ、その知的な情報処理、の各段階における処理性能の向上、電力の削減、安全性の向上といった切り口での研究に取り組んでいます。
池田 誠 教授
知的情報処理・センシングとハードウエアセキュリティ
世の中のサイバー空間における知的処理の基点としてのハードウエアは、より知的に、より高速に、より低電力に、そしてより安全に進化しています。サイバー空間への入り口としてのセンシング、取得したデータ、その知的な情報処理、の各段階における処理性能の向上、電力の削減、安全性の向上といった切り口での研究に取り組んでいます。
大崎 博之 教授
柏キャンパス
次世代エネルギー機器のための超電導技術
電気エネルギーの効率的利用と先進的電磁界応用システムの実現を目指して，超電導体や高性能永久磁石等の先端材料を活用し，優れた特性を有する電気エネルギー機器およびシステムの研究を進めています。
大崎 博之 教授
次世代エネルギー機器のための超電導技術
電気エネルギーの効率的利用と先進的電磁界応用システムの実現を目指して，超電導体や高性能永久磁石等の先端材料を活用し，優れた特性を有する電気エネルギー機器およびシステムの研究を進めています。
川原 圭博 教授
本郷キャンパス
Internet of Thingsのためのデジタルものづくりと無線給電
Internet of Thingsの次の時代を見据え、あらゆるものにセンサやアクチュエータの機能が自然に内包された世界の実現を目指し、AIを活用したデジタルものづくり技術、無線給電技術、ロボット、センシング技術に取り組んでいます。
川原 圭博 教授
Internet of Thingsのためのデジタルものづくりと無線給電
Internet of Thingsの次の時代を見据え、あらゆるものにセンサやアクチュエータの機能が自然に内包された世界の実現を目指し、AIを活用したデジタルものづくり技術、無線給電技術、ロボット、センシング技術に取り組んでいます。
黒田 忠広 教授
本郷キャンパス
3D集積回路
AIチップ、3Dメモリー、シリコンコンパイラーを研究して、グリーンなシステムをアジャイルに設計できる人材を育成します。
黒田 忠広 教授
3D集積回路
AIチップ、3Dメモリー、シリコンコンパイラーを研究して、グリーンなシステムをアジャイルに設計できる人材を育成します。
高宮 真 教授
駒場キャンパス
小さなチップで大きな電力を賢くあやつる
2050年の脱炭素社会の実現に向けて、パワーエレクトロニクス機器の省エネ化を目的として、小さなICチップで大きな電力を賢くあやつる集積パワーマネジメントの研究を行っています。
高宮 真 教授
小さなチップで大きな電力を賢くあやつる
2050年の脱炭素社会の実現に向けて、パワーエレクトロニクス機器の省エネ化を目的として、小さなICチップで大きな電力を賢くあやつる集積パワーマネジメントの研究を行っています。
竹内 健 教授
本郷キャンパス
データセントリックコンピューティング（AI・Computation in Memory・量子コンピュータ）
脳のようにデータの処理と記憶が融合したデータ中心のコンピューティング、CiM (Computation in Memory)を研究しています。AI時代に向けて、LSIのハード・制御ソフト・機械学習から応用・社会実装まで、分野を越境し異分野をCo-designする人材を育成します。
竹内 健 教授
データセントリックコンピューティング（AI・Computation in Memory・量子コンピュータ）
脳のようにデータの処理と記憶が融合したデータ中心のコンピューティング、CiM (Computation in Memory)を研究しています。AI時代に向けて、LSIのハード・制御ソフト・機械学習から応用・社会実装まで、分野を越境し異分野をCo-designする人材を育成します。
竹中 充 教授
本郷キャンパス
シリコンフォトニクスで切り拓く次世代AI・IoTデバイス
シリコンを使って光電子集積回路を実現するシリコンフォトニクスの研究を進めています。GeやIII-V族化合物半導体、グラフェンなどの2次元材料をSiフォトニクスと組み合わせることで、光演算で深層学習を行うAI用プログラマブル光回路、光配線LSI、中赤外集積回路などの研究を進めており、ムーアの法則に依らない革新的コンピューティングの実現を目指しています。
竹中 充 教授
シリコンフォトニクスで切り拓く次世代AI・IoTデバイス
シリコンを使って光電子集積回路を実現するシリコンフォトニクスの研究を進めています。GeやIII-V族化合物半導体、グラフェンなどの2次元材料をSiフォトニクスと組み合わせることで、光演算で深層学習を行うAI用プログラマブル光回路、光配線LSI、中赤外集積回路などの研究を進めており、ムーアの法則に依らない革新的コンピューティングの実現を目指しています。
田畑 仁 教授
本郷キャンパス
スピン波・ゆらぎによる脳模倣型Beyond AIデバイスと量子技術の情報処理および医工学応用
ニューロンでの信号処理がスピングラス呼ばれる物性のハミルトニアンと同値であることに着目し、スピン揺らぎを活用した脳型デバイス研究。また室温動作可能なスピン波量子干渉や共鳴トンネリング現象、確率共鳴原理を情報処理デバイスへ適用して低消費電力化を実現したり、脳磁、心磁、体ガス等の生体関連情報の超高感度計測を目指した研究を実施。
田畑 仁 教授
スピン波・ゆらぎによる脳模倣型Beyond AIデバイスと量子技術の情報処理および医工学応用
ニューロンでの信号処理がスピングラス呼ばれる物性のハミルトニアンと同値であることに着目し、スピン揺らぎを活用した脳型デバイス研究。また室温動作可能なスピン波量子干渉や共鳴トンネリング現象、確率共鳴原理を情報処理デバイスへ適用して低消費電力化を実現したり、脳磁、心磁、体ガス等の生体関連情報の超高感度計測を目指した研究を実施。
年吉 洋 教授
駒場キャンパス
ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ、マイクロナノメカトロニクス
ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）は電気、機械、化学、材料力学、流体力学、光学…の複合領域です。半導体微細加工技術を光通信デバイス、画像ディスプレイ、医療診断装置、ＩｏＴセンサ、エナジーハーベスタ等に応用します。
年吉 洋 教授
ＭＥＭＳ／ＮＥＭＳ、マイクロナノメカトロニクス
ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）は電気、機械、化学、材料力学、流体力学、光学…の複合領域です。半導体微細加工技術を光通信デバイス、画像ディスプレイ、医療診断装置、ＩｏＴセンサ、エナジーハーベスタ等に応用します。
中島 研吾 教授
本郷キャンパス
ポストムーア時代のアプリケーション・アルゴリズムへ向けて
スパコンを駆使した大規模シミュレーションによる計算科学は理論・実験に続く「第3の科学」と呼ばれています。当研究室では、スパコン上での大規模シミュレーションを支える数理的基盤の研究開発をScience-Modeling-Algorithm-Software-Hardware（SMASH）の幅広い観点から実施し、「第3の科学」の発展に貢献します。
中島 研吾 教授
ポストムーア時代のアプリケーション・アルゴリズムへ向けて
スパコンを駆使した大規模シミュレーションによる計算科学は理論・実験に続く「第3の科学」と呼ばれています。当研究室では、スパコン上での大規模シミュレーションを支える数理的基盤の研究開発をScience-Modeling-Algorithm-Software-Hardware（SMASH）の幅広い観点から実施し、「第3の科学」の発展に貢献します。
塙 敏博 教授
柏キャンパス
次世代スパコンへの道を切り拓く
スパコンは従来のシミュレーションに加えて大規模機械学習を実現するプラットフォームとしても注目されています。これらを協調させることでもっと高度なアプリケーションを実現できます。そのためには通信やファイル入出力などあらゆる処理を最適化する必要があり、より進んだこれらの融合・協調により、次世代スパコンの基盤技術の開発を目指します。
塙 敏博 教授
次世代スパコンへの道を切り拓く
スパコンは従来のシミュレーションに加えて大規模機械学習を実現するプラットフォームとしても注目されています。これらを協調させることでもっと高度なアプリケーションを実現できます。そのためには通信やファイル入出力などあらゆる処理を最適化する必要があり、より進んだこれらの融合・協調により、次世代スパコンの基盤技術の開発を目指します。
馬場 旬平 教授
本郷キャンパス
電気を使って電気を創る〜スマートグリッドに向けた機器の制御〜
パワーエレクトロニクスやエネルギー貯蔵技術、ICTなど新しい技術を電力分野に適用し、より良い電気エネルギーシステムの構築に資する研究をしています。実際に離島などに出向いて実験をするなど、ハードウェアに近い研究をしています。
馬場 旬平 教授
電気を使って電気を創る〜スマートグリッドに向けた機器の制御〜
パワーエレクトロニクスやエネルギー貯蔵技術、ICTなど新しい技術を電力分野に適用し、より良い電気エネルギーシステムの構築に資する研究をしています。実際に離島などに出向いて実験をするなど、ハードウェアに近い研究をしています。
廣瀬 明 教授
本郷キャンパス
電波の眼とAI脳機能で見る・感じる・話す ワイヤレス エレクトロニクス＋ニューラルネットワーク
脳の情報処理原理の電子情報工学的な探求と解析、記号処理とパターン処理の融合による新しい情報・信号処理方式の創出、それらから生まれる柔軟な電磁波/光波 計測技術、イメージングや通信方式の開発、そこで必要になるシステムとデバイスの実現について研究しています。
廣瀬 明 教授
電波の眼とAI脳機能で見る・感じる・話す ワイヤレス エレクトロニクス＋ニューラルネットワーク
脳の情報処理原理の電子情報工学的な探求と解析、記号処理とパターン処理の融合による新しい情報・信号処理方式の創出、それらから生まれる柔軟な電磁波/光波 計測技術、イメージングや通信方式の開発、そこで必要になるシステムとデバイスの実現について研究しています。
福田 盛介 教授
相模原キャンパス
探査機/衛星システムとセンサ信号処理
電子工学を背景とする衛星・探査機システムに関わる技術や、レーダー・画像センシングの信号処理技術などについて、実際のプロジェクトに非常に近いところから将来の要素技術まで、幅広く研究を行っています
福田 盛介 教授
探査機/衛星システムとセンサ信号処理
電子工学を背景とする衛星・探査機システムに関わる技術や、レーダー・画像センシングの信号処理技術などについて、実際のプロジェクトに非常に近いところから将来の要素技術まで、幅広く研究を行っています
松橋 隆治 教授
本郷キャンパス
エネルギーシステム分析とカーボンニュートラル社会実現に関する研究
松橋研では、エネルギーシステムと地球温暖化対策の研究、およびエネルギー政策に関わる多様な研究をおこなってきました。現在は、再生可能エネルギーの導入拡大を考慮した電源構成モデルの開発と、限定合理性を考慮した新しいエネルギー経済モデルの構築を進め、これらを統合して研究を進めています。
松橋 隆治 教授
エネルギーシステム分析とカーボンニュートラル社会実現に関する研究
松橋研では、エネルギーシステムと地球温暖化対策の研究、およびエネルギー政策に関わる多様な研究をおこなってきました。現在は、再生可能エネルギーの導入拡大を考慮した電源構成モデルの開発と、限定合理性を考慮した新しいエネルギー経済モデルの構築を進め、これらを統合して研究を進めています。
三田 吉郎 教授
本郷キャンパス
自然の機能に学ぶ先端集積化マイクロシステムの展開
山手線内で最も清浄な部屋「スーパークリーンルーム」で、世の中が見たこともないような「世界初」「世界最高」の賢いマイクロマシンを学生諸君と一緒に創造しています。
三田 吉郎 教授
自然の機能に学ぶ先端集積化マイクロシステムの展開
山手線内で最も清浄な部屋「スーパークリーンルーム」で、世の中が見たこともないような「世界初」「世界最高」の賢いマイクロマシンを学生諸君と一緒に創造しています。
峯松 信明 教授
本郷キャンパス
喋って聞いて教えてくれるコンピュータを用いた音声コミュニケーション支援
音声のテキスト化（音声認識）、テキストの音声化（音声合成）はスマホでも動く時代になりました。これらの音声技術を使って、人と人、人と機械間の、より質の高い音声コミュニケーションの実現を支援する枠組みを構築しています。音声工学以外にも、音響音声学、認知科学、言語学、脳科学など、様々な知識を身につけ、音声コミュニケーションを営む方々のQoLの向上を目指しています。
峯松 信明 教授
喋って聞いて教えてくれるコンピュータを用いた音声コミュニケーション支援
音声のテキスト化（音声認識）、テキストの音声化（音声合成）はスマホでも動く時代になりました。これらの音声技術を使って、人と人、人と機械間の、より質の高い音声コミュニケーションの実現を支援する枠組みを構築しています。音声工学以外にも、音響音声学、認知科学、言語学、脳科学など、様々な知識を身につけ、音声コミュニケーションを営む方々のQoLの向上を目指しています。
森川 博之 教授
本郷キャンパス
デジタルで社会・産業・経済・地方を変える
デジタルが社会をどう変革していくかに想いを巡らせながら，5G / Beyond 5G / 6G，モノのインターネット，クラウドロボティクス，無線通信／給電，情報社会デザインなどの研究を進めています．しなやかな若い発想で一緒に研究を進めていきましょう．
森川 博之 教授
デジタルで社会・産業・経済・地方を変える
デジタルが社会をどう変革していくかに想いを巡らせながら，5G / Beyond 5G / 6G，モノのインターネット，クラウドロボティクス，無線通信／給電，情報社会デザインなどの研究を進めています．しなやかな若い発想で一緒に研究を進めていきましょう．
特任教授
濱田 基嗣 特任教授
本郷キャンパス
低電力半導体集積回路システム
IoT/AI時代の情報技術を担う、低消費電力なプロセッサや通信システムの集積回路技術を研究しています。
濱田 基嗣 特任教授
低電力半導体集積回路システム
IoT/AI時代の情報技術を担う、低消費電力なプロセッサや通信システムの集積回路技術を研究しています。
藤井 隆 特任教授
本郷キャンパス
革新的レーザ計測技術の開発と高電圧研究への適用
直流グリッドが共存した次世代電力システムの実現に向け、光を用いた電界計測やレーザプラズマを用いた設備診断技術など、レーザの特長を生かした様々な応用研究や、レーザ特有の非線形現象の解明を行っています。
藤井 隆 特任教授
革新的レーザ計測技術の開発と高電圧研究への適用
直流グリッドが共存した次世代電力システムの実現に向け、光を用いた電界計測やレーザプラズマを用いた設備診断技術など、レーザの特長を生かした様々な応用研究や、レーザ特有の非線形現象の解明を行っています。
准教授
大石 岳史 准教授
駒場キャンパス
実世界の時空間モデリング・表現
ロボットや自動運転車両などの自律移動を実現するために、LiDARやカメラなどの光学センサデバイスを用いて実世界の３次元モデル化、認識、解析する技術の開発を進めています。
大石 岳史 准教授
実世界の時空間モデリング・表現
ロボットや自動運転車両などの自律移動を実現するために、LiDARやカメラなどの光学センサデバイスを用いて実世界の３次元モデル化、認識、解析する技術の開発を進めています。
大西 亘 准教授
本郷キャンパス
メカトロニクス制御を数理最適化で究める
数理と情報の融合により物理限界の極限を攻めた制御性能の実現を目指しています。電気回路・電磁気・パワーエレクトロニクス・プラズマ・機械・熱・流体といった制御対象のメカトロニクス系全体と制御器設計の統合最適化，そしてシステム同定と学習制御により，性能とロバスト性の両立を追究します。共同研究先と協力し，露光装置，半導体熱処理炉，実際の鉄道などの世界一流の制御対象に対して，制御理論と制御系設計法の両面を提案・実装し，持続可能で豊かな社会を支えます。
大西 亘 准教授
メカトロニクス制御を数理最適化で究める
数理と情報の融合により物理限界の極限を攻めた制御性能の実現を目指しています。電気回路・電磁気・パワーエレクトロニクス・プラズマ・機械・熱・流体といった制御対象のメカトロニクス系全体と制御器設計の統合最適化，そしてシステム同定と学習制御により，性能とロバスト性の両立を追究します。共同研究先と協力し，露光装置，半導体熱処理炉，実際の鉄道などの世界一流の制御対象に対して，制御理論と制御系設計法の両面を提案・実装し，持続可能で豊かな社会を支えます。
小川 剛史 准教授
柏キャンパス
ヒト×モノ×コトのインタラクション
拡張現実感や仮想現実感の技術を用いて人々の能力を拡張し、日常の生活を豊かにすることを目標に、さまざまな研究に取り組んでいます。研究テーマに共通するキーワードは「つなぐ」。人と人をつなぐ「コミュニケーション支援」や「グループウェア」、人とコンピュータをつなぐ「インタフェース」、人とデータをつなぐ「インタラクション技術」など、ヒト×モノ×コトを、それぞれ相互に作用させることで、新たな体験を創出する仕組みを実現します。
小川 剛史 准教授
ヒト×モノ×コトのインタラクション
拡張現実感や仮想現実感の技術を用いて人々の能力を拡張し、日常の生活を豊かにすることを目標に、さまざまな研究に取り組んでいます。研究テーマに共通するキーワードは「つなぐ」。人と人をつなぐ「コミュニケーション支援」や「グループウェア」、人とコンピュータをつなぐ「インタフェース」、人とデータをつなぐ「インタラクション技術」など、ヒト×モノ×コトを、それぞれ相互に作用させることで、新たな体験を創出する仕組みを実現します。
小林 大輔 准教授
相模原キャンパス
びっくりするコンピュータ：宇宙が半導体を驚かす
我々にはとうていできそうにない計算をひょいとやってのけるコンピュータ。それを頭脳に持つロボットが映画に出てくると、冷徹で無慈悲なやつとして描かれることが多い。1か0かに切り分けるデジタル処理の様子が、そんなイメージを想起させるのだろうか。そんなクールなコンピュータは実は案外繊細だ。何かにびっくりして記憶喪失になったり、変な動作をしたり、気絶したりする。その何かは宇宙から飛んでくる。あまりに小さくて見えないが、超新星爆発の威力で加速された粒子「宇宙線」の威力は絶大だ。さぁ、どうする？
小林 大輔 准教授
びっくりするコンピュータ：宇宙が半導体を驚かす
我々にはとうていできそうにない計算をひょいとやってのけるコンピュータ。それを頭脳に持つロボットが映画に出てくると、冷徹で無慈悲なやつとして描かれることが多い。1か0かに切り分けるデジタル処理の様子が、そんなイメージを想起させるのだろうか。そんなクールなコンピュータは実は案外繊細だ。何かにびっくりして記憶喪失になったり、変な動作をしたり、気絶したりする。その何かは宇宙から飛んでくる。あまりに小さくて見えないが、超新星爆発の威力で加速された粒子「宇宙線」の威力は絶大だ。さぁ、どうする？
齋藤 大輔 准教授
本郷キャンパス
実データ指向の音声情報処理とメディア情報処理
齋藤研究室では音声情報処理の要素技術の発展・高精度化・応用を進めるとともに、それを軸としたマルチメディア情報処理について研究開発を行っています。特に近年では複数人歌唱などの複雑な歌唱現象やロボットの見た目と音声の関係性に関する分析など実世界の複雑な音現象を対象とした研究に取り組んでいます。研究スタンスとしては数理的なバックグラウンドに基づいて新しい技術を創造し、幅広く様々なメディアを取り扱うことを目指しています。
齋藤 大輔 准教授
実データ指向の音声情報処理とメディア情報処理
齋藤研究室では音声情報処理の要素技術の発展・高精度化・応用を進めるとともに、それを軸としたマルチメディア情報処理について研究開発を行っています。特に近年では複数人歌唱などの複雑な歌唱現象やロボットの見た目と音声の関係性に関する分析など実世界の複雑な音現象を対象とした研究に取り組んでいます。研究スタンスとしては数理的なバックグラウンドに基づいて新しい技術を創造し、幅広く様々なメディアを取り扱うことを目指しています。
佐藤 周行 准教授
柏キャンパス
セキュリティとトラストのサイエンス
認証基盤に関する研究、検証付き最適化コンパイラの研究、 分散環境におけるトラストの研究を通して、セキュリティとトラストの総合的な研究を行っています
佐藤 周行 准教授
セキュリティとトラストのサイエンス
認証基盤に関する研究、検証付き最適化コンパイラの研究、 分散環境におけるトラストの研究を通して、セキュリティとトラストの総合的な研究を行っています
佐藤 正寛 准教授
本郷キャンパス
物性論とスマートなAIを活用した電気電子材料の創成
材料律速な世界においてカーボンニュートラルを実現すべく、自然法則と人工知能を協奏させ、新しい電気電子材料を創成しています。加え、電子構造論に基づき高電界現象を理解し、先進的な制御方法を提言しています。
佐藤 正寛 准教授
物性論とスマートなAIを活用した電気電子材料の創成
材料律速な世界においてカーボンニュートラルを実現すべく、自然法則と人工知能を協奏させ、新しい電気電子材料を創成しています。加え、電子構造論に基づき高電界現象を理解し、先進的な制御方法を提言しています。
下川辺 隆史 准教授
本郷・柏キャンパス
スパコンにおける大規模シミュレーション
物理シミュレーションは、気象・宇宙・ものづくりなどの計算科学・計算工学の様々な分野で活用されています。次世代スパコンを活用した大規模シミュレーションの実現には、計算手法、アルゴリズム、ソフトウェア技術の研究開発が必要です。私たちは、流体計算、GPU計算、AMR、高速化手法、機械学習、動的負荷分散などの研究に取り組んでいます。
下川辺 隆史 准教授
スパコンにおける大規模シミュレーション
物理シミュレーションは、気象・宇宙・ものづくりなどの計算科学・計算工学の様々な分野で活用されています。次世代スパコンを活用した大規模シミュレーションの実現には、計算手法、アルゴリズム、ソフトウェア技術の研究開発が必要です。私たちは、流体計算、GPU計算、AMR、高速化手法、機械学習、動的負荷分散などの研究に取り組んでいます。
中山 雅哉 准教授
柏キャンパス
広域分散処理
様々な機器がネットワークを介して接続する現在、それらを繋ぐためのネットワーク基盤技術だけでなく、各種機器から情報をどのように集め、どのように処理し、どのように活用するかといった応用技術まで、あらゆる分野の領域を横断して、新しい研究課題にチャレンジしています。
中山 雅哉 准教授
広域分散処理
様々な機器がネットワークを介して接続する現在、それらを繋ぐためのネットワーク基盤技術だけでなく、各種機器から情報をどのように集め、どのように処理し、どのように活用するかといった応用技術まで、あらゆる分野の領域を横断して、新しい研究課題にチャレンジしています。
夏秋 嶺 准教授
本郷キャンパス
アクティブセンシングが測る、世界の変化
「電波を使った観測」が私たちの研究テーマです。電波を使えば、昼夜天候に関係なく遠方のものを観測できます。人工衛星に搭載したレーダで、偏波や位相を使い、地球のダイナミックな変化を知ることがテーマです。
夏秋 嶺 准教授
アクティブセンシングが測る、世界の変化
「電波を使った観測」が私たちの研究テーマです。電波を使えば、昼夜天候に関係なく遠方のものを観測できます。人工衛星に搭載したレーダで、偏波や位相を使い、地球のダイナミックな変化を知ることがテーマです。
成末 義哲 准教授
本郷キャンパス
無線と未来を考える
サイバーフィジカルシステム（CPS）を最⼩限の⼈的コストで設計・構築・運⽤する“ゼロコン フィグレーションCPS”の実現に向け、次世代無線⽅式およびフィールド指向コンピューティングの研究開発を展開しています。
成末 義哲 准教授
無線と未来を考える
サイバーフィジカルシステム（CPS）を最⼩限の⼈的コストで設計・構築・運⽤する“ゼロコン フィグレーションCPS”の実現に向け、次世代無線⽅式およびフィールド指向コンピューティングの研究開発を展開しています。
矢谷 浩司 准教授
本郷キャンパス
インタラクティブなシステムで新しいユーザ体験をデザインする
ユーザインタフェースの研究を通して，情報技術を活用した新たなアプリケーションを提案するとともに，インタラクティブなシステムが人間の行動や意思決定にどのような影響を与えるかを研究しています．
矢谷 浩司 准教授
インタラクティブなシステムで新しいユーザ体験をデザインする
ユーザインタフェースの研究を通して，情報技術を活用した新たなアプリケーションを提案するとともに，インタラクティブなシステムが人間の行動や意思決定にどのような影響を与えるかを研究しています．
特任講師
肥後 昭男 特任講師
本郷キャンパス
超高速・超精細電子線描画によるフォトニックNEMS/MEMSの実現
光情報社会においてデバイスの大規模化が進んでいます。通常、電子線描画でナノ構造を実現するためには小さい領域を描画するのですが、本研究では大面積を高精細に描画するキャラクタープロジェクション法を用いてフォトニックNEMS/MEMSデバイスの実現を目指しています。
肥後 昭男 特任講師
超高速・超精細電子線描画によるフォトニックNEMS/MEMSの実現
光情報社会においてデバイスの大規模化が進んでいます。通常、電子線描画でナノ構造を実現するためには小さい領域を描画するのですが、本研究では大面積を高精細に描画するキャラクタープロジェクション法を用いてフォトニックNEMS/MEMSデバイスの実現を目指しています。